优美科思集团最新研发成果---能够满足170～600nm的连续光谱的高强度紫外线灯

2020年7月8日，日本工业新闻报刊刊载了优美科思集团最新的研发成果----成功研制出能够满足170～600nm的连续光谱的高强度紫外线灯。具体刊载内容如下：

【姬路】YUMEX（兵库县姬路市、千木庆隆社长，079-3355111）开发并已销售不含水银的高强度紫外线氙气闪烁光源。

因能发出高强度深紫外到近红外域的宽幅光谱，可作为半导体和液晶等曝光设备光源使用。

开发品由灯管和电源设备组成。价格根据式样不同单独报价，年销售目标数百套。

传统水银灯管的波长除了365nm（nm为10亿分之1）的 I 线、405nm的 H 线、436nm的 G 线等特定波长以外，其他光谱的强度都比较弱弱。即使准分子激光也仅能发出高强度的248nm波长，其他波长也弱。

  对此我司开发的该灯管，能发出170～600nm的连续光谱。因能对应各波光谱，所以可应用于要求微米级精细加工的半导体、液晶、基板的制造上。由于该灯管与被成为杀菌线的254nm光谱非常接近，所以也可用于各种杀菌及病毒灭活产品上。

与曝光用水银灯管比较，原来的一般性氙气灯管，虽能发出连续光谱，但紫外线强度弱。因此我司开发了高功率输入可脉冲点灯、并能使用集光和光学镜组的小型放电光源，成功地实现了氙气灯管的高强度发光。